该厂为84英寸晶圆产量线搭配的超超纯水系統，时刻行成含硅生活污水150吨。生活污清水中虽无天价属，但硅含量高易积灰，且电阻器率需到18MΩ·cm功能回收。本身整工院艺没有办法提供新实施的《自动化工业生产水的挥发性有机物尾气排放出基准》（GB39731-2020）很大尾气排放出卫生防护距离。 化工废水成分表结构特征 重要被污染的物 ：固体硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（比表面积0.1-1μm） 特俗标准要求 ：TOC<10μg/L，硼含氧量<5μg/L 水源特征参数 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅无机化合物特征僵化 处置技术流程图 什么是创新用到"梯级膜离心分离+电去化合物"搭配制作工艺： 微滤处理过程 ：1μm瓷器膜屏蔽广告大粉末硅，通量保持80LMH 阳离子变换树酯 ：D201大孔树脂胶抉择性物理吸附硅酸碳原子 两级RO设备 ：第一次段的回收利用率60%，第二点段适用高脱硼膜元器件 EDI电去亚铁离子 ：直流电导热系数2A/m²，持继消除残留正离子 红外光谱除臭 ：254nm分光光度计线含量40mJ/cm² 技术水平短板 规划设计专门用阻硅剂（有机酸胺类挽回物），减轻膜污染破坏寿命3倍 EDI版块创新发展流道设计的概念，硅祛除率不断提升至99.8% 在线平台硅分享仪（检测的规模0.1-500μg/L）保证 优质调整 开机运行效果 经第3方监测： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L降为0.3μg/L 体系收回率从原40%提高至68% 膜改换期限延伸至5年，年程序运行费用有效降低35%