北京某光电器件存储芯片制造技术厂，晶圆制造阶段中导致含硅、氟的特俗废污水净化加工，规划净化加工大小1200吨/日。废污水净化加工组成多样化，有效nm级硅顆粒及氢氧化钠，过去的净化加工的方式难易及格。 废水处理方法营养成分及主要来源 主要污染问题物 ：电解质溶液硅（100-500nm粒级）、氟亚铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 的来源流程 ：晶圆刻蚀废液（45%）、CMP生物机械主设备拋光废液（40%）、主设备情况呢水（15%） 加工处理鑫霖环保操作流程 企业创新选择"生物学乳浊液+劳动防护膜破乳"技术设备自驾路线： 钙盐水解 ：加药系统氯化钙洗去氟铝离子（产生CaF2沉淀自己） 水解酸化池表现 ：符合斜板沉淀池剂控制悬浊液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔的直径膜截流微细颗料 反浸入系统 ：脱盐率>98%，回收利用率75% 挥发析出 ：浓水段实行氟化物零排出 终极特效 氟化物酸度：<8mg/L（不超过欧洲国家七级准则10mg/L） 硅含磷量：<5mg/L 水资源现状的造纸废水处理率：70%用作水冷水塔皮肤补水 危险废物减药：蒸馏沉渣量较老式工序少60%